电子显微分析是利用聚焦电子【zǐ】束与试样物质相互【hù】作用产生各种物【wù】理信号，分析【xī】试样物质的【de】微【wēi】区形貌【mào】、晶体结构和化学【xué】组成【chéng】。
扫描电子显微【wēi】镜的制造是【shì】依据【jù】电子与物质的相【xiàng】互作用。当一束高能的入射电【diàn】子轰击【jī】物质表面时，被激发的区【qū】域将产生二次电【diàn】子、俄歇电子【zǐ】、特征x射【shè】线和连续谱X射线、背散射电子【zǐ】、透射电子，以及在可见、紫外、红外【wài】光区【qū】域【yù】产生的电磁辐射。同时【shí】，也可产【chǎn】生电【diàn】子-空【kōng】穴对、晶格振动【dòng】 （声【shēng】子）、电子振【zhèn】荡 （等离【lí】子体）。原则【zé】上讲，利用电子和物质的相互作用，可以获取被测样品本身的【de】各种物理、化学性质的信【xìn】息【xī】，如形貌、组【zǔ】成、晶体结【jié】构、电子结构和内部电场或磁【cí】场等等【děng】。
扫【sǎo】描电子显微镜正是根据上述不同【tóng】信息产生的机理，采用【yòng】不同的【de】信息检测器，使选择检测【cè】得【dé】以实现。如【rú】对二次电子、背散射电子的采集【jí】，可得【dé】到有关【guān】物质微观【guān】形貌【mào】的【de】信息【xī】；对x射线的采集，可得到物质化学成分的信息。