背散射电子衍射(Electron Backscattered Diffraction, EBSD)是一项【xiàng】在扫描电【diàn】镜中获得样【yàng】品结晶学信息的【de】新技术。通过自动【dòng】标【biāo】定背散射衍【yǎn】射【shè】花样，测定【dìng】大块【kuài】样品表面（通【tōng】常矩【jǔ】形【xíng】区域内）的晶体微区【qū】取【qǔ】向，此【cǐ】技术使块状样品在观察显微组织形貌的同时还【hái】可以进行晶体学数据分析。EBSD是当今【jīn】材料特征分析【xī】的重要工【gōng】具，它【tā】可以用晶体【tǐ】取向图的形式显示【shì】多晶材料的晶体取向和织【zhī】构。
       EBSD的【de】主【zhǔ】要应用是【shì】取向和取向差异的测量、微织构分析、相鉴定、应变【biàn】和【hé】真实晶粒尺寸的【de】测量【liàng】。 归纳起【qǐ】来，EBSD技术具有【yǒu】以【yǐ】下四个方【fāng】面的特点：(1)对晶体结构分析的精度已使EBSD技术成为一种继X光衍射和电子衍射后的一种微区物相鉴【jiàn】定新【xīn】方【fāng】法【fǎ】；（2）晶体【tǐ】取向【xiàng】分析【xī】功能使EBSD技【jì】术已逐【zhú】渐成为一种标准的微【wēi】区织构【gòu】分【fèn】析【xī】技术新方法；（3）EBSD方法【fǎ】所具有的高速（每秒钟可测定100个点）分析的特【tè】点及在样品上自动线、面分【fèn】布采集数据点的特点已使该技术在晶【jīng】体结构【gòu】及取向【xiàng】分析上既具【jù】有透射电镜【jìng】方法【fǎ】的微区分【fèn】析的特【tè】点又【yòu】具有【yǒu】X光衍射（或中子衍射）对大【dà】面积样品区域进行统计分析的特点；（4）EBSD样品制备【bèi】也是相【xiàng】对【duì】简【jiǎn】单【dān】。

                         
                                                          SUPRA55场发射扫描电子显微镜
UPRA55热【rè】场发射【shè】扫描【miáo】电子显【xiǎn】微【wēi】镜广泛用于冶【yě】金、生物、建筑、机械等【děng】行【háng】业的材料【liào】形貌观察【chá】和【hé】分析【xī】，如【rú】金属、半导体、陶瓷、高【gāo】分子材料、有机聚合物等。本电镜配备有X射线能谱分析仪和EBSD 背散【sàn】射【shè】电子取向成像系【xì】统。
EBSD探测器空【kōng】间分【fèn】辨率：Al 0.1mm @20kV；平均角【jiǎo】偏差<0.5
                                                 
LEO-1450扫描电镜及取向分析系统
1、  扫【sǎo】描电镜工作电压200V~30KV；分辨【biàn】率3.5nm；5轴马【mǎ】达样品台，全计算机控制；样品台【tái】移动【dòng】范围：X：100mm；Y：125mm；Z：35mm，倾转对中；二【èr】次电子【zǐ】像，背【bèi】散射电子像【xiàng】
2、  能谱仪（KevexSuperDry）电制冷超薄窗口【kǒu】探头；分辨率139eV（MnK2）；可分【fèn】析元素范【fàn】围【wéi】B~U；
3、  背散射取向分【fèn】析系统EBSD（丹麦HKL Channel5），空间分辨率【lǜ】0.1m；测定【dìng】速【sù】度400个取向【xiàng】/秒。
对外服务项目：
能【néng】谱仪：可分析B、C、N、O等轻元素，进【jìn】行【háng】点、线、面分析；同时获取10个【gè】以上不同元素【sù】的成分信息（线、面分析时，用于【yú】成分【fèn】分析【xī】）。
各种晶体材料的结构，取向的确定；取向成像，取【qǔ】向差，转轴分布，取向极图；反极图，ODF表示（用【yòng】于结【jié】构与取向【xiàng】分析也是本【běn】仪器设备【bèi】的【de】特色）。