原子力显微镜（atomic force microscope，简称AFM）利用微悬臂感受和放大悬臂【bì】上尖【jiān】细【xì】探针与受测【cè】样品【pǐn】原子之【zhī】间的作用力，从而达到【dào】检测【cè】的目的，具有原子级【jí】的分辨率。由于原子力显微镜既可以观察导体，也可以观察非导体，从而弥补了扫描隧道显微镜的不足。
相对于扫描电子显微镜，原子力显微镜具有许多优点。不同于电子显微镜只能提供二维图像，AFM提供真正的三维表面图【tú】。同时，AFM不需要对样【yàng】品的任何特殊处理，如镀铜或【huò】碳【tàn】，这种处理对样【yàng】品会造成不【bú】可逆转【zhuǎn】的伤害【hài】。第三，电子显微镜需要运行在高真空条件下，原子力【lì】显微【wēi】镜在常压下甚【shèn】至在液体环境下【xià】都可以【yǐ】良好【hǎo】工作。这样可以用来研究生物宏观分子，甚至活的生物组织。原子力显微镜与扫描隧道显微镜（Scanning Tunneling Microscope）相比【bǐ】，由于能观测非【fēi】导电样品，因此具有更为广泛的【de】适【shì】用性。当前在科【kē】学研究和工业界【jiè】广泛使用【yòng】的扫描力显微【wēi】镜【jìng】（Scanning Force Microscope），其【qí】基础就是【shì】原子力显微镜。
和扫描电子显微镜(SEM）相【xiàng】比，AFM的【de】缺点在于成像范围太小【xiǎo】，速度慢，受【shòu】探头的【de】影响太大。


美国DI公司 原子力显微镜
使用自动化的原子【zǐ】力显微镜和扫【sǎo】描隧道显微镜技术，可测【cè】量直【zhí】径可达200毫米的半【bàn】导体硅片【piàn】、刻【kè】蚀掩膜【mó】、磁【cí】介质、CD/DVD、生物材料、光学【xué】材料和其它样品的表面特性。

原子力显微镜研究对象可以是有机固体、聚合物以及生物大分子等，样品的载体选择范围很大，包括云母片、玻璃片、石墨、抛光硅片、二氧化硅和【hé】某些生物膜等，其【qí】中最常用的是新剥离的云母【mǔ】片，主要【yào】原因是其非常平整且容易【yì】处理。而抛【pāo】光【guāng】硅片最好要用【yòng】浓硫【liú】酸与【yǔ】30%双氧水的7∶3 混合液【yè】在90 ℃下煮1h。利用电性【xìng】能测试时需要导电性能【néng】良【liáng】好的载体，如【rú】石墨或【huò】镀有金属【shǔ】的基片。

试样【yàng】的厚度【dù】，包括试样台的厚度【dù】，最大为10 mm。如【rú】果试【shì】样过重，有时【shí】会影响Scanner的动作，请不要放过【guò】重的试样。试样【yàng】的大小以不大于试样台的大小（直径20 mm）为大致的标准。稍微大一点也没【méi】问【wèn】题【tí】。但是，最大值约为【wéi】40 mm。如果未固定好就【jiù】进行测量可能产【chǎn】生移【yí】位【wèi】。请固定好后再测定【dìng】。